氩气净化

富氩气经压缩后进入PSA-Ar工段中正处于吸附状态的吸附塔内，通过吸附的方式，将CO2、N2和部分O2等杂质被吸附下来，未被吸附的氩气作为产品从塔顶流出，得到99.99~99.999纯度的Ar。